隨著微電子技術(shù)的發(fā)展,利用半導(dǎo)體材料的壓阻效應(yīng)和良好的彈性,研制出半導(dǎo)體力敏傳感器,主要有硅壓阻式和電容式兩種,它們具有體積小、重量輕、靈敏度高等優(yōu)點(diǎn),因此半導(dǎo)體力敏傳感器廣泛應(yīng)用。
當(dāng)對(duì)一塊半導(dǎo)體在某一晶向上施加應(yīng)力時(shí),其電阻率會(huì)產(chǎn)生一定的變化。這種導(dǎo)體電阻率變化和應(yīng)力之間的相互關(guān)系稱為半導(dǎo)體壓阻效應(yīng),利用此效應(yīng)制成的力學(xué)量傳感器稱為壓阻式力敏傳感器,它有兩種類型,一類是將半導(dǎo)體應(yīng)變計(jì)粘貼在彈性元件上制成的傳感器,稱為粘貼型壓阻式傳感器,另一類是在半導(dǎo)體材料的基片上用集成電路工藝制成的擴(kuò)散電阻,使應(yīng)變計(jì)與硅襯底形成同一整體的傳感器,稱為擴(kuò)散型壓阻式。
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【證書含金量】
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【傳感器定義】; 傳感器是復(fù)雜的設(shè)備,經(jīng)常被用來檢測(cè)和響應(yīng)電或光。傳感器將物理參數(shù)(例如:溫度、血壓、濕度、速度等)轉(zhuǎn)換成可以用電測(cè)量的。我們可以先來解釋一下溫度的例子,玻璃溫度計(jì)中的使和收縮,從而將測(cè)量到的溫度轉(zhuǎn)換為可被校準(zhǔn)玻璃管上的觀察者讀取的溫度。
【傳感器選擇】; 在選擇傳感器時(shí),必須考慮某些特性,具體如下: 1.準(zhǔn)確性 2.條件——通常對(duì)溫度/濕度有 3.范圍——傳感器的測(cè)量極限 4.校準(zhǔn)——對(duì)于大多數(shù)測(cè)量設(shè)備而言必不可少,因?yàn)樽x數(shù)會(huì)隨時(shí)間變化 5.分辨率——傳感器檢測(cè)到增量 6.費(fèi)用 7.重復(fù)性——在相同下重復(fù)測(cè)量變化的讀數(shù)
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